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  • 电子级高纯化学品灌装柜

  • 电子级高纯化学品灌装柜

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商品描述

定位于半导体材料交付端的最后一道质量控制节点，专为 G5 级超高纯化学品在分装、交付与物流环节的纯度稳定性与批次一致性而设计。

系统通过高精度定量灌装、洁净密闭路径与全流程过程监控，将来自储罐或 CDS 系统的高纯化学品转化为可直接交付 Fab 与客户产线的标准化成品包装。

核心能力： 计量精度、批次一致性与可追溯性。


☉ 半导体制造

☉ 显示面板

☉ 先进封装

☉ 光伏制造

☉ 电子材料

☉ 高端精密制造


☉ 空气净化FFU

☉ PLC控制

☉ 部件维护预警

☉ 4级权限管理

☉ 漏液报警

☉ 排风负压报警

☉ 自动灌装功能

☉ 取样口功能

☉ 灌装氮气吹扫

☉ 扫码枪

☉ 高纯水清洗

☉ 氮气保护

☉ 火焰探测；氧含量检测；可燃气体检测；在线灭火

☉ 洁净管理功能（百级；十级）

☉ 照明功能（黄光灯）


项目

规格

适用化学品包装规格

4L / 20L / 200L / 1000L

工位配置

1-10可选

控制等级

G5级

过流材质

PFA/PTFE/SS316L

外壳材质

PP/SS304/SS316L

控制方式

PLC+HMI（西门子）

系统集成

支持DCS/厂务系统通讯