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  • 高纯化学品容器清洗柜

  • 高纯化学品容器清洗柜

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商品描述

定位于半导体化学品包装循环体系中的洁净重构节点，专为 G5 级高纯容器在复用与再灌装前的洁净度恢复而设计。

系统通过全密闭自动清洗、去离子冲洗与惰性气体干燥，将回收桶、空桶或周转容器恢复至可直接进入高纯分装与 CDS 体系的电子级洁净状态。

核心目标： 零残留、零交叉污染与批次一致性。


☉ 半导体制造

☉ 显示面板

☉ 光伏制造

☉ 电子化学品

☉ 精细化工


☉ 空气净化FFU

☉ PLC控制

☉ 部件维护预警

☉ 4级权限管理

☉ 漏液报警

☉ 排风负压报警

☉ 自动清洗与干燥功能

☉ 氮气吹扫

☉ 高纯水清洗

☉ 氮气保护

☉ 火焰探测；氧含量检测；可燃气体检测；在线灭火

☉ 洁净管理功能（百级；十级）

☉ 照明功能（黄光灯）


项目

规格

适用化学品包装规格

1L/4L / 20L / 25L/200L

工位配置

1-10可选

控制等级

G5级

进出桶方式

手动/自动

泵配置类型

磁力泵/气动隔膜泵

过流材质

PFA/PTFE/SS316L

外壳材质

PP/SS304/SS316L

控制方式

PLC+HMI（西门子）

系统集成

支持DCS/厂务系统通讯