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  • 高纯化学品过滤柜

  • 高纯化学品过滤柜

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商品描述

定位于半导体湿电子化学品纯度体系中的最终颗粒与微污染控制节点，专为 G5 级高纯化学品在进入 CDS 与工艺机台前的终极净化而设计。

通过与连续精馏、树脂机台、灌装柜及 CDS 系统的无缝对接，过滤柜构建起高纯化学品从生产到制程的最后一道纯度防线，为先进制程与高端材料应用提供可靠的超高洁净度保障。

核心目标：低析出、低滞留与长期稳定过滤性能


☉ 半导体制造

☉ 显示面板

☉ 光伏制造

☉ 电子化学品

☉ 精细化工


☉ 空气净化FFU

☉ PLC控制

☉ 部件维护预警

☉ 4级权限管理

☉ 漏液报警

☉ 排风负压报警

☉ 自动过滤功能

☉ 氮气吹扫

☉ 高纯水清洗

☉ 氮气保护

☉ 火焰探测；氧含量检测；可燃气体检测；在线灭火

☉ 洁净管理功能（百级；十级）

☉ 照明功能（黄光灯）


通过多级精密过滤与全密闭高洁净流路结构，持续去除亚微米颗粒、树脂微粉及微量杂质，确保进入 Fab 的每一滴化学品均处于可控、稳定、可验证的超高纯状态。

集成在线压差监测、滤芯寿命管理与自动冲洗功能，使过滤状态始终维持在最佳窗口。