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阿派斯特电子级离子交换树脂机台,定位于半导体高纯湿电子化学品体系中的金属离子终极控制节点,专为 G5 级化学品在进入 Fab 前的超低金属杂质要求而设计。
通过与连续精馏、过滤柜、灌装系统及 CDS 的系统级联动,离子交换树脂机台构建起高纯化学品从生产到制程之间的金属离子 “最后防线”,为半导体与高端材料客户提供真正可信赖的纯度保障。
核心能力:离子去除效率、长期稳定性与批次一致性
☉ 高纯酸类
☉ 光刻与显影化学品
☉ CMP 化学品
☉ 超高纯溶剂等超高纯化学品的离子吸附去除
☉ Na⁺
☉ K⁺
☉ Fe³⁺
☉ Cu²⁺
☉ 其它关键金属离子
原料合成 / 精馏纯化 → 离子交换树脂机台 → 精密过滤 → 灌装 / CDS 配供系统 → 半导体工艺机台
阿派斯特电子级离子交换树脂机台集成在线监测、自动再生与精密流量控制,使树脂床始终运行在最优吸附窗口。