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  • MVR 高纯蒸发浓缩系统

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商品描述

阿派斯特电子级 MVR 高纯浓缩系统，核心聚焦半导体与高端湿电子化学品对超高纯度与浓度稳定性的严苛需求打造。

系统可对高纯溶液中的溶剂进行高效蒸发与回收，在全密闭、低金属析出的工艺环境下，将目标组分稳定浓缩至设定浓度，实现连续、可控的高纯浓缩作业。


☉ 光刻胶中间体与溶剂

☉ CMP 添加剂与功能化学品

☉ 高纯硅溶胶母液

☉ 电子级溶剂及各类湿电子化学品的高纯浓缩与溶剂回收场景


设备集成MVR 蒸汽再压缩蒸发、高效换热、真空控制、溶剂冷凝回收及安全联锁等核心功能，从源头控制热降解、杂质引入与二次污染风险；系统通过对温度、真空度、蒸发速率与回流工况的高精度闭环控制，保障浓缩过程的稳定性与批次一致性。

可无缝对接前端萃取、精馏或切向流纯化工序，以及后端树脂、过滤与灌装系统，全程无需人工干预，为半导体材料、光刻胶中间体、CMP 添加剂及各类高纯溶液提供安全、洁净、稳定的电子级浓缩与溶剂回收解决方案。


进料与缓冲储罐

冷凝与回流装置

在线监测仪表（温度、压力、流量、电导率或浓度）

蒸发器主体（换热器 / 蒸发腔）

浓缩液与冷凝液收集单元

CIP 清洗系统

蒸汽压缩机（MVR 压缩机）

循环输送泵组

安全联锁装置

PLC 自动化控制与电气系统




高纯溶液 / 回收液 → 预处理 → 真空蒸发 → 蒸汽再压缩 → 高效换热 → 连续浓缩 → 溶剂冷凝回收 → 高纯浓缩液 → 下游工序