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  • 电子级高纯化学品输送柜

  • 电子级高纯化学品输送柜

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商品描述

聚焦半导体领域需求，专为 G5级超高纯半导体制程定制开发，可直接将原包装桶内的高纯物料安全洁净地输送至后端储罐或工艺管路，全程实现自动化上料作业。

可无缝对接CDS+配供系统、半导体工艺机台或厂务储罐，全程无需人工干预，可为全场景提供安全、洁净、稳定的高纯化学品输送解决方案。

核心功能： 桶装化学品装卸、抽吸输送、在线过滤、泄漏收集、安全联锁。


☉ 半导体制造

☉ 显示面板

☉ 先进封装

☉ 光伏制造

☉ 电子材料

☉ 高端精密制造


☉ 空气净化FFU

☉ PLC控制

☉ 部件维护预警

☉ 4.4级权限管理

☉ 漏液报警

☉ 排风负压报警

☉ 自动上料功能

☉ 尾料氮气吹扫

☉ 高纯水清洗

☉ 原料氮气保护

☉ 原料扫码

☉ 火焰探测；氧含量检测；可燃气体检测；在线灭火

☉ 洁净管理功能（百级；十级）

☉ 照明功能（黄光灯）


项目

规格

适用化学品包装规格

4L / 20L / 200L / 1000L / IBC

工位配置

1-10可选

控制等级

G5级

泵类型

计量泵；气动隔膜泵；风囊泵；转子泵；齿轮泵

过流材质

PFA/PTFE/SS316L

外壳材质

PP/SS304/SS316L

控制方式

PLC+HMI（西门子）

系统集成

支持DCS/厂务系统通讯