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阿派斯特电子级切向流纯化浓缩单元,核心聚焦半导体与高端湿电子化学品对超高纯度与组分稳定性的严苛需求打造,专为 G5 级高纯溶液与功能化学品的纯化与浓缩制程定制开发。
系统基于切向流膜分离(TFF)技术,在全密闭、高洁净工艺环境下,实现溶质与杂质、溶剂与大分子组分的高效分离与富集。
☉ 光刻胶树脂与功能高分子溶液
☉ CMP 研磨液与添加剂
☉ 高纯硅溶胶
☉ 生物与电子功能材料溶液等需要在不破坏分子结构前提下进行纯化与浓缩的高纯液体体系
设备集成多级膜过滤、在线浓缩、杂质截留与连续循环控制等核心功能模块,通过对跨膜压差、流速与回流比的高精度闭环调控,在不破坏分子结构的前提下去除金属离子络合物、胶体颗粒与微量杂质,并将目标组分稳定浓缩至工艺设定值。
系统可无缝对接前端合成、精馏或萃取工序,以及后端树脂纯化、过滤与灌装系统,为光刻胶树脂、CMP 添加剂、生物电子材料及高端功能溶液提供安全、洁净、稳定的电子级纯化与浓缩解决方案。
进料与缓冲储罐
压力与流量调节装置
在线监测仪表(压力、流量、电导率或浓度)
循环输送泵
透过液与浓缩液收集单元
清洗与再生系统(CIP / 冲洗回路)
切向流膜组件(微滤 / 超滤膜壳及膜元件)
安全联锁
PLC 自动化控制系统
反应液 / 混配液 → 循环进料 → 切向流膜分离 → 杂质与低分子透过 → 目标组分截留 → 连续浓缩 → 纯度稳定化 → 高纯溶液 → 下游工序