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应用场景:半导体与电子级化学品工艺中对洁净度与金属析出高度敏感的加热与冷却环节,适用于需要低粗糙度流道、稳定换热性能及高可靠性的高纯介质换热场景。
参数范围:
半导体湿电子化学品及强腐蚀介质的精密过滤与杂质去除工艺中,适用于对耐腐蚀性、低金属析出和高洁净度要求极高的过滤应用场景。